MEMS

MEMS est l’acronyme de « Micro Electro Mechanical Systems », soit microsystèmes électromécaniques : des composants miniaturisés fabriqués par les techniques de la microélectronique (photolithographie, gravure profonde), généralement dans du silicium. En horlogerie, les procédés issus des MEMS — notamment la gravure profonde du silicium (procédé DRIE) — ont permis de produire des composants d’échappement et de résonateur d’une précision et d’une complexité inaccessibles à l’usinage traditionnel : roues d’échappement, ancres, spiraux et même échappements complets en silicium. Ces pièces présentent des avantages notables : légèreté, absence de besoin de lubrification pour certaines fonctions, insensibilité au magnétisme, et géométries optimisées reproductibles à l’identique. Le silicium, apparu dans les mouvements de série au début des années 2000, a ainsi ouvert une voie d’innovation majeure, tout en suscitant des débats sur la tradition et la réparabilité. Les techniques MEMS illustrent la convergence entre l’horlogerie et les hautes technologies de la microfabrication. Elles participent aujourd’hui à la performance chronométrique et antimagnétique de nombreux calibres contemporains.