MEMS
MEMS es el acrónimo de « Micro Electro Mechanical Systems », es decir, microsistemas electromecánicos: componentes miniaturizados fabricados mediante las técnicas de la microelectrónica (fotolitografía, grabado profundo), generalmente en silicio. En relojería, los procesos derivados de los MEMS — en particular el grabado profundo del silicio (proceso DRIE) — han permitido producir componentes de escape y de resonador de una precisión y una complejidad inaccesibles para el mecanizado tradicional: ruedas de escape, áncoras, espirales e incluso escapes completos en silicio. Estas piezas presentan ventajas notables: ligereza, ausencia de necesidad de lubricación para ciertas funciones, insensibilidad al magnetismo, y geometrías optimizadas reproducibles de forma idéntica. El silicio, aparecido en los movimientos de serie a principios de los años 2000, abrió así una vía de innovación importante, al tiempo que suscitaba debates sobre la tradición y la reparabilidad. Las técnicas MEMS ilustran la convergencia entre la relojería y las altas tecnologías de la microfabricación. Hoy en día participan en el rendimiento cronométrico y antimagnético de numerosos calibres contemporáneos.
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