MEMS

MEMS ist die Abkürzung für „Micro Electro Mechanical Systems“, also mikroelektromechanische Systeme: miniaturisierte Bauteile, die mit Techniken der Mikroelektronik hergestellt werden (Fotolithografie, Gravur Tiefenätzung), meist in Silizium. In der Uhrmacherei haben die aus den MEMS stammenden Verfahren – insbesondere die Tiefenätzung von Silizium (DRIE-Verfahren) – die Herstellung von Bauteilen für Hemmung und Resonator mit einer Präzision und Komplexität ermöglicht, die der traditionellen Bearbeitung unzugänglich sind: Hemmungsräder, Anker, Spiralfedern und sogar komplette Hemmungen aus Silizium. Diese Bauteile bieten bemerkenswerte Vorteile: geringes Gewicht, kein Bedarf an Schmierung für bestimmte Funktionen, Unempfindlichkeit gegenüber Magnetismus und optimierte, identisch reproduzierbare Geometrien. Silizium, das Anfang der 2000er Jahre in Serienwerken auftauchte, eröffnete damit einen bedeutenden Innovationsweg, während es zugleich Debatten über Tradition und Reparierbarkeit auslöste. Die MEMS-Techniken veranschaulichen die Konvergenz zwischen der Uhrmacherei und den Hochtechnologien der Mikrofertigung. Sie tragen heute zur chronometrischen und antimagnetischen Leistung zahlreicher zeitgenössischer Kaliber bei.